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电子气体半导体需求量大涨,期待本土配套全方位服务

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电子气体是高科技产业重要的“源”材料,是集成电路制造过程中必不可少的关键支撑材料。业内人士表示,中国半导体行业要实现从跟踪走向引领的跨越,电子气体的突破将是重要一环。

电子气体成本约占IC材料总成本6%

半导体制造过程中刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相沉积、扩散等要使用大量的电子气体,其成本占IC材料总成本的6%左右,且电子气体的纯度对芯片质量影响很大。随着集成电路制程节点不断缩小(已经走到10/7纳米),对电子气体的颗粒度和杂质含量的要求也越来越高。因此,集成电路技术快速发展,对电子气体的品种、数量、质量、安全性以及稳定性等方面均提出了更高的要求。

根据国际半导体协会(SEMI)的数据,2016年全球半导体用特种气体市场规模为34.7亿美元,2017年增长到38.9亿美元,增长率为12.32%。按照这个增速,2018年的市场规模预计在45亿美元左右。

据了解,目前,国际上电子气体产业已经处于非常成熟的时期,全球半导体用电子气体市场呈现出寡头竞争的格局,美国空气化工,法国液化空气、普莱克斯,德国林德,日本大阳日酸之和占比94%以上。

国内的半导体用电子气体市场也主要被国外厂商占据,其中空气化工、普莱克斯、昭和电工、英国BOC、液化空气和日本大阳日酸6家公司合计市场占有率高达85%。中船重工718所副所长王少波在接受《中国电子报》记者采访时表示,半导体用电子气体本土化将大幅降低中国芯片制造商的制造成本,提高中国芯片制造业的竞争力。但由于存在很高的进入门槛,目前电子气体的本土化率较低。“半导体制程过程中用到的83种电子气体,其中有35%已经实现本土化,还有35%正在本土化,30%还未进行本土化。半导体产业用的7种大宗气体仍被国外公司垄断,但中船重工718所已立项完成技术研发和系统集成,在德淮半导体公司成功应用,未来将大力开拓市场,实现国本土化。”王少波说。


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